檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "魏大欽".ccommittee (精準) and year="99"
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數反應壓力及三甲基硼(TMB)摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以探求非晶…
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本論文利用電漿技術,包括電漿處理以及電漿聚合等方法,成功製備水濕性梯度以及官能基梯度。其中,水濕性梯度的製備,是利用特殊的遮罩,並先以氧氣電漿進行前處理,再用六氟化硫電漿處理,將水濕性梯度製備於聚丙…